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愛德華羅茨真空泵

更新時(shí)間：2020-09-25 12:30:13 [上一個(gè)：愛德華RV12真空泵 ]　 [查看原圖] 　 [下一個(gè)：已經(jīng)沒有了 ]

詳情說明 / Details

愛德華EH1200羅茨泵：
精捷真空EH機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下。

愛德華真空泵應(yīng)用：

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO₂ 激光

	EH250	EH500	EH1200	EH2600	EH4200
排量（工作容積）	310 m³h^-1 / 185 ft³min^-1	505 m³h^-1 / 300 ft³min^-1	1195 m³h^-1 / 715 ft³min^-1	2590 m³h^-1 / 1525 ft³min^-1	4140 m³h^-1 / 2440 ft³min^-1
使用前級(jí)泵時(shí)的有效抽速	240 m³h^-1 / 141 ft³min^-1	350 m³h^-1 / 206 ft³min^-1	840 m³h^-1 / 495 ft³min^-1	1750 m³h^-1 / 1031 ft³min^-1	3100 m³h^-1 / 1825 ft³min^-1
泵的壓力差	0-180 mbar/0-140 Torr	0-110 mbar/0-83 Torr	0-90 mbar/0-68 Torr	0-80 mbar/0-60 Torr	0-60 mbar / 0-45 Torr
進(jìn)氣口連接	ISO63	ISO100	ISO160	ISO160	ISO250
出口連接	ISO40	ISO63	ISO100	ISO100	ISO100
轉(zhuǎn)速	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr
推薦的前級(jí)泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	GV160、GV250、 E2M80、E2M175	GV250、GV400、 E2M175、E2M275	GV400、E2M275
電機(jī)功率
碳?xì)浠衔?/span>	2.2 kW / 3 hp	2.2 kW/3 hp	3 kW/4 hp	11 kW/15 hp	11 kW/15 hp
PFPE	1.5 kW / 2 hp	1.5 kW/2 hp	3 kW/4 hp	7.5 kW/10 hp	11 kW/15 hp
ATEX	2.2 kW	2.2 kW	3 kW	11 kW	11 kW
防爆	3 hp	3 hp	4 hp	15 hp	15 hp
環(huán)境溫度范圍
工作	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F
存儲(chǔ)	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F
最大工作濕度	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH
推薦用油	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20
油容量
齒輪箱			1.25 l/1.3 qt	3.5 l/3.3 qt	3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	6.5 l/7 qt	6.5 l/7 qt
軸封儲(chǔ)油器	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	1.5 l/1.4 qt	1.5 l/1.4 qt
重量	61 kg/134 lb	74 kg/163 lb	74 kg/163 lb	308 kg/6

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h¹/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用行業(yè)。

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